产品概览 / MS-3000
产品概览
系统采用分体配置，由显微观察平台、反射式照明与物镜光路、LS0190 激光驱动宽谱光源、FS-3000 光纤光谱仪和采集软件组成。独立光源经照明光纤向显微光路送光，样品反射信号经收集光纤传入不带光源的 FS-3000，由制冷 CCD 完成光谱采集。反射式物镜用于紫外可见采样，标准白板或样品匹配参比用于建立反射基准。适用于催化剂、半导体及材料电子跃迁相关光谱研究，短波端性能需结合样品和光路确认。
可配置系列。规格与供货范围以最终方案和合同为准。
配置要点
- 标称 200–800 nm 光谱范围，覆盖紫外与可见测量需求。
- 反射式物镜和照明光路用于宽波段显微采样。
- 独立激光驱动宽谱光源与光纤光谱仪分体布置，照明和光谱采集分别连接。
- 白板或样品匹配参比支持反射光谱对比。
- 通过积分时间与光源快门安排采集和背景测量。
应用方向
催化剂和半导体材料的紫外可见反射研究；材料电子跃迁相关光谱表征；局部区域及样品间的反射特征对比。
SPECIFICATIONS / MS-3000
产品参数
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 测量范围 | 200–800 nm |
| 系统结构 | 分体式：显微平台＋独立光源＋光纤光谱仪 |
| 光源 | LS0190 激光驱动宽谱光源，标称 190–2500 nm |
| 光谱采集单元 | FS-3000 光纤光谱仪，不带光源，1 个 SMA905 进光口 |
| 光谱分辨率（100 μm 狭缝） | ≤2.8 nm |
| 光栅 | 300 线/mm |
| 显微采样光斑 | 约 150 μm |
| 物镜 | 反射式无限远校正 36×/NA 0.50，工作距离 8.6 mm；DUV 增强铝膜，适用 ≥190 nm |
| 照明光纤 | 高羟基抗太阳化石英光纤，200 μm 芯径，NA 0.22 |
| 光谱仪光路 | 交叉式 Czerny–Turner，焦距约 120 mm，f/3.5 |
| 狭缝 | 100 μm 标配，50 μm 可选 |
| 探测器 | 背照式 CCD，1024 × 128 像素，24 μm 像元，200–1100 nm 响应；单级热电制冷至 −10 ℃ |
| 定位物镜 | 四孔转盘；PL 5×/NA 0.12、PL L10×/NA 0.25、PL L20×/NA 0.40；按光谱模块占用孔位调整，至少保留 PL 5× |
| 观察方式 | 同轴相机实时观察光斑位置与焦点；目镜通道用于白光形貌观察 |
| 观察相机 | C 接口彩色 CMOS，1/2.5 英寸，3840 × 2160 像素，1.62 μm 像元，380–1030 nm 响应 |
| 落射照明 | 6 V / 20 W 卤素灯，亮度可调，带视场光栏与孔径光栏 |
| 调焦 | 粗微动同轴调焦，微动格值 2 μm，带锁紧与限位 |
| 载物台 | 双层机械移动式，185 × 140 mm；移动范围 75 × 50 mm |
| 收集光纤 | 12 芯圆转直光纤束；单芯 105 μm，NA 0.15 |
DETAILS / MS-3000
技术说明
本型号采用独立光源与光纤光谱仪的分体结构。显微光学盒后右侧面的接口通过照明光纤连接 LS0190 光源；朝后端面、可能被盒体部分遮挡的接口通过收集光纤连接 FS-3000 的进光口。光源标称波段为 190–2500 nm，系统测量范围仍为 200–800 nm，由光纤、显微光路及光谱仪共同限定。光源含 UV-C 波段，使用时应保持规定的封闭光路。该配置不配电动衰减滤光轮；通过积分时间和光源快门控制测量。物镜收集几何不同于积分球，参比与样品应保持一致的采样条件；200–215 nm 的可用信噪比应按所用样品、光纤及积分时间实测确认。
200–215 nm 端的可用信噪比随样品反射率、光纤衰减和积分时间变化，交付时按实测曲线确认。DUV 不配电动衰减滤光轮，以积分时间及光源快门控制入射与背景采集。
