产品概览 / MU0200
产品概览
由显微观察平台、反射式照明与物镜光路、分体宽谱光源及独立光谱单元组成，适于观察紫外至可见波段的反射特征。
可配置系列。规格与供货范围以最终方案和合同为准。
配置要点
- 200–800 nm 紫外可见测量
- 反射式照明与物镜光路
- 内置标准漫反射白板
应用方向
催化剂、半导体及材料电子跃迁研究
SPECIFICATIONS / MU0200
产品参数
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 测量范围 | 200–800 nm |
| 光源 | 分体式氘卤组合光源 |
| 光谱分辨率（100 μm 狭缝） | ≤2.8 nm |
| 光栅 | 300 线/mm |
| 显微采样光斑 | 约 150 μm |
| 物镜 | 反射式无限远校正 36×/NA 0.50，工作距离 8.6 mm；DUV 增强铝膜，适用 ≥190 nm |
| 照明光纤 | 高羟基抗太阳化石英光纤，200 μm 芯径，NA 0.22 |
| 光谱仪光路 | 交叉式 Czerny–Turner，焦距约 120 mm，f/3.5 |
| 狭缝 | 100 μm 标配，50 μm 可选 |
| 探测器 | 背照式 CCD，1024 × 128 像素，24 μm 像元，200–1100 nm 响应；单级热电制冷至 −10 ℃ |
| 定位物镜 | 四孔转盘；PL 5×/NA 0.12、PL L10×/NA 0.25、PL L20×/NA 0.40；按光谱模块占用孔位调整，至少保留 PL 5× |
| 观察方式 | 同轴相机实时观察光斑位置与焦点；目镜通道用于白光形貌观察 |
| 观察相机 | C 接口彩色 CMOS，1/2.5 英寸，3840 × 2160 像素，1.62 μm 像元，380–1030 nm 响应 |
| 落射照明 | 6 V / 20 W 卤素灯，亮度可调，带视场光栏与孔径光栏 |
| 调焦 | 粗微动同轴调焦，微动格值 2 μm，带锁紧与限位 |
| 载物台 | 双层机械移动式，185 × 140 mm；移动范围 75 × 50 mm |
| 收集光纤 | 12 芯圆转直光纤束；单芯 105 μm，NA 0.15 |
DETAILS / MU0200
技术说明
氘灯与卤钨灯在分体光源内合束，经光纤封闭传输到显微镜，灯泡更换无需拆开主机。内置标准漫反射白板作通用参比，也可用样品匹配参比。光源输出含 UV-C 波段，应按装配手册的封闭光路使用。收集几何受物镜 NA 限定，与积分球的半球收集几何不同。
200–215 nm 端的可用信噪比随样品反射率、光纤衰减和积分时间变化，交付时按实测曲线确认。DUV 不配电动衰减滤光轮，以积分时间及光源快门控制入射与背景采集。
